行星齿轮传动装置总重量，一般情况下与齿轮的重量成正比，而齿轮的重量与其材料和热处理(lǐ)硬度又(yòu)有(yǒu)很(hěn)强的关联。例如，在相同功率下，渗碳淬火齿轮的重量将是调质齿轮重量的1/3左右。所以针对行星齿轮减速机的结构特性和齿轮的载荷性质，应该广泛采用(yòng)硬齿面齿轮。

 众所周知，行星减速机获得硬齿面齿轮的热处理(lǐ)方法很(hěn)多(duō)，如表面淬火，整體(tǐ)淬火、渗碳淬火、渗氮等，这些方法根据行星齿轮减速机的特点考虑选定。下面简单分(fēn)析一下行星减速机内部齿轮的热处理(lǐ)方法。

1、表面淬火
常见的表面淬火方法有(yǒu)高频淬火和火焰淬火两种，对小(xiǎo)尺寸齿轮采用(yòng)前者，对大尺寸齿轮采用(yòng)后者。表面淬火的淬硬层包括齿根底部时，效果好。表面淬火齿面硬度可(kě)达洛氏硬度45~55。
2、渗碳(C)淬火
结果渗碳淬火后的齿轮具有(yǒu)相对较大的承载能(néng)力，但必须采用(yòng)精加工工序(磨齿)来消除热处理(lǐ)变形，以保证精度（精确度）。
渗碳淬火齿轮常用(yòng)渗碳前碳的质量分(fēn)数為(wèi)0.2%~0.3%的合金钢，其齿面硬度常在58~62HRC。滚珠丝杆升降机行星减速机的特点是體(tǐ)积小(xiǎo)，输出扭矩大，传动效率高，只要有(yǒu)这些要求的地方都可(kě)以用(yòng)。若低于57HRC时，齿面强度显著下降，高于62HRC时则脆性会增加。齿轮心部硬度一般以310~330HBW為(wèi)宜。渗碳淬火后的齿轮硬度，有(yǒu)效渗碳深度规定為(wèi)表面至硬度52.5HRC处的深度。
渗碳(C)淬火除了使齿轮心部硬度有(yǒu)所提高外，还可(kě)使齿轮 大拉应力區(qū)的应力减小(xiǎo)。因此磨齿时不能(néng)磨齿根部分(fēn)，滚齿时要用(yòng)留磨量以便滚刀(dāo)。
3、渗氮
渗氮可(kě)保证齿轮在变形很(hěn)小(xiǎo)的条件下达到很(hěn)高的齿面硬度和耐磨耗性，热处理(lǐ)后不再进行后的精加工，提高齿轮承载能(néng)力
4、啮合齿轮的硬度组合
当大、小(xiǎo)齿轮均為(wèi)软齿面时，小(xiǎo)齿轮的齿面硬度应高于大齿轮。而当两轮均為(wèi)硬齿面且硬度较高时，则取两轮硬度相同。