伺服就是一个提供闭环反馈信号来控制位置和转速.

伺服在半导體(tǐ)设备中的应用(yòng)极其广泛,例如在涂胶机,光刻机等设备上均有(yǒu),下面就关于伺服電(diàn)机的相关问题作出了整理(lǐ),希望在今后的工作中能(néng)带来帮助.

1.伺服電(diàn)机為(wèi)什么不会丢步？

伺服電(diàn)机驱动器接收電(diàn)机编码器的反馈信号，并和指令脉冲进行比较，从而构成了一个位置的半闭环控制。所以伺服電(diàn)机不会出现丢步现象，每一个指令脉冲都可(kě)以得到可(kě)靠响应。

2.对伺服電(diàn)机进行机械安装时，应特别注意什么？

由于每台伺服電(diàn)机后端部都安装有(yǒu)旋转编码器，它是一个十分(fēn)易碎的精密光學(xué)器件，过大的冲击力肯定会使其损坏。

3.如何调节伺服電(diàn)机，调节伺服電(diàn)机有(yǒu)几种方式？

答(dá)：使用(yòng)Twin Line软件对電(diàn)机的PID参数、電(diàn)机参数、電(diàn)子齿轮比等进行调节。

4.我们想用(yòng)伺服電(diàn)机替换产品中的步进電(diàn)机，应注意哪些问题？

A.為(wèi)了保证控制系统改变不大，应选用(yòng)数字式伺服系统，仍可(kě)采用(yòng)原来的脉冲控制方式；

B.由于伺服電(diàn)机都有(yǒu)一定过载能(néng)力，所以在选择伺服電(diàn)机时，经验上可(kě)以按照所使用(yòng)的步进電(diàn)机输出扭矩的1/3来参考确定伺服電(diàn)机的额定扭矩；

C.伺服電(diàn)机的额定转速比步进電(diàn)机的转速要高的多(duō)，為(wèi)了充分(fēn)发挥伺服電(diàn)机的性能(néng)，*好增加减速装置，让伺服電(diàn)机工作在接近额定转速下，这样也可(kě)以选择功率更小(xiǎo)的電(diàn)机，以降低成本。

5.用(yòng)脉冲方式控制伺服電(diàn)机的优点?

一 可(kě)靠性高，不易发生飞車(chē)事故。用(yòng)模拟電(diàn)压方式控制伺服電(diàn)机时，如果出现接線(xiàn)接错或使用(yòng)中元件损坏等问题时，有(yǒu)可(kě)能(néng)使控制電(diàn)压升至正的*大值。这种情况是很(hěn)危险的。如果用(yòng)脉冲作為(wèi)控制信号就不会出现这种问题。

二 信号抗干扰性能(néng)好。数字電(diàn)路抗干扰性能(néng)是模拟電(diàn)路难以比拟的。

当然目前由于伺服驱动器和运动控制器的限制，用(yòng)脉冲方式控制伺服電(diàn)机也有(yǒu)一些性能(néng)方面的弱点。一是伺服驱动器的脉冲工作方式脱离不了位置工作方式，二是运动控制器和驱动器如何用(yòng)足够高的脉冲信号传递信息。

这两个根本的弱点使脉冲控制伺服電(diàn)机有(yǒu)很(hěn)大限制。

(1)控制的灵活性大大下降。这是因為(wèi)伺服驱动器工作在位置方式下，位置环在伺服驱动器内部。这样系统的PID参数修改起来很(hěn)不方便。当用(yòng)户要求比较高的控制性能(néng)时实现起来会很(hěn)困难。从控制的角度来看，这只是一种很(hěn)低级的控制策略。如果控制程序不利用(yòng)编码器反馈信号，事实上成了一种开环控制。如果利用(yòng)反馈控制，整个系统存在两个位置环，控制器很(hěn)难设计。在实际中，常常不用(yòng)反馈控制，但不定时的读取反馈进行参考。这样的一个开环系统，如果运动控制器和伺服驱动器之间的信号通道上产生干扰，系统是不能(néng)克服的。

(2)控制的快速性速度不高。

6.伺服驱动器的“4”号报警是什么意思，?

答(dá)：这是電(diàn)机传感器错误，或者是编码器与電(diàn)机的连線(xiàn)没有(yǒu)连接好，或者是动力電(diàn)源缺相。

7.伺服驱动器“2”号报警，怎样解决，需要调节哪些参数?

答(dá)：应该调节驱动器控制信号的30号角使其是高電(diàn)平。

8.如何根据客户的要求為(wèi)客户选配伺服電(diàn)机和减速机，所选的方案应為(wèi)*佳。

答(dá)：根据功率选取减速机，选出合适的减速机尺寸，在根据减速机选择合适的伺服電(diàn)机，一定要注意速度的选取。

9.伺服電(diàn)机通電(diàn)以前应做哪些检查工作？

答(dá)：检查電(diàn)机与驱动器的连線(xiàn)，连線(xiàn)不能(néng)虚连，線(xiàn)不能(néng)接错。

10.控制伺服时，给信号时，伺服電(diàn)机不转，振动?

答(dá)：U，V，W三相接错。